ДОСЛІДЖЕННЯ МІКРОЕЛЕКТРОМЕХАНІЧНИХ П'ЄЗОЕЛЕКТРИЧНИХ СТРУКТУР МЕТОДОМ АТОМНО-СИЛОВОЇ МІКРОСКОПІЇ
Journal Title: Вісник Черкаського державного технологічного університету - Year 2018, Vol 1, Issue 3
Abstract
Нині провідні виробники радіоелектронних компонентів серійно випускають досить ве-ликий перелік елементів, до складу яких включені різні мікроелектромеханічні структури. Основна перевага використання у вимірювальних приладах елементів з п'єзокерамічних матеріалів обумовлюється їх особливою структурою, яка дозволяє реалізувати в одному такому елементі принципово різні схеми, наприклад, для одночасного вимірювання температури, тиску і вологості. Метою роботи є вивчення методом атомно-силової мікроскопії прихованих мікродефектів і мікронерівностей поверхонь п'єзоелектричних перетворювачів.
Authors and Affiliations
К. Базіло, С. Білокінь, М. Бондаренко, В. Медяник
Keywords
Related Articles
- EP ID EP511841
- DOI 10.24025/2306-4412.3.2018.162704
- Views 133
- Downloads 0
ВИЗНАЧЕННЯ ДОПУСТИМИХ РЕЖИМІВ НАГРІВУ ПІРОТЕХНІЧНИХ СУМІШЕЙ ПРИ ЇХ ЕКСПЛУАТАЦІЇ
На стадії проектування піротехнічних сумішей необхідно прогнозувати допустимі ре-жимів їх нагріву, перевищення яких призводить до займання зарядів сумішей під металевими оболонками виробів, що призводить до пожежовибухон...
П’єзоелектричні перетворювачі для оцінки небезпек навколишнього середовища
Всесвітня організація охорони здоров'я (ВООЗ) визначає здоров'я як "стан повного фізичного, психічного та соціального благополуччя, а не лише як відсутність хвороби чи недуги". Фізичні чинники (шум, вібрація, електромагн...
ЗАЛЕЖНІСТЬ ЧАСТОТИ КОЛИВАНЬ ВІД ГЕОМЕТРИЧНИХ ПАРАМЕТРІВ П’ЄЗОКЕРАМІЧНОГО АКТУАТОРА ДЛЯ МАЛОГАБАРИТНИХ ЛІТАЛЬНИХ АПАРАТІВ
<p><em>Робота знайшла своє застосування при конструюванні малогабаритних літальних</em><em> апаратів, де як рушійну силу використовують</em><em> п’єзокерамічні пластини.</em><em> </em><em>При конструюванні малогабаритних...
МОДЕЛЮВАННЯ ПОСЛІДОВНОГО ОЦІНЮВАННЯ ПАРАМЕТРА ЗСУВУ АСИМЕТРИЧНО-РОЗПОДІЛЕНИХ ВИПАДКОВИХ ВЕЛИЧИН МЕТОДОМ МАКСИМІЗАЦІЇ ПОЛІНОМА
У статті досліджується новий алгоритм послідовного оцінювання параметра зсуву негаусових асиметрично-розподілених випадкових величин, який базується на методі максимізації полінома та моментно-кумулянтному описі. Отриман...
Технологія обробки інформації нормалізованих систем
Для спрощення обчислювального процесу моделей будь-якої складності виникла необхідність розробити технологію обробки інформації у вигляді програмного алгоритму, який дозволяє обробляти, аналізувати та прогнозувати майбут...