ІМПУЛЬСНЕ ЗБУДЖЕННЯ МАГНЕТРОННОГО РОЗРЯДУ
Journal Title: Електроніка та зв'язок - Year 2017, Vol 22, Issue 3
Abstract
Технології нанесення тонких плівок останнім часом широко застосовують імпульсні режими осадження. Такі режими мають ряд переваг перед традиційним магнетронним осадженням на постійному струмі, а також дозволяють реалізовувати нелінійні ефекти. Але існують певні труднощі при збудженні імпульсного магнетронного розряду, що пов’язані з генерацією вільних носіїв заряду на початковому етапі його розвитку. Для визначення умов впевненого збудження імпульсного магнетронного розряду без підтримки слабкострумовим фоновим розрядом була створена модель таундсендівського розряду, що виникає на самому початку імпульсного магнетронного розряду та забезпечує його вільними носіями заряду. В результаті розрахунків були встановлені: 1) напруга, при якій відбувається стабільне збудження самостійного імпульсного магнетронного розряду; 2) діапазон напруг, при яких збудження самостійного імпульсного магнетронного розряду носить нестабільний характер і може призводити до затримки збудження розряду на протязі імпульсу, або взагалі до їх пропусків; 3) напруга, при якій практично неможливо збудити імпульсний магнетронний розряд без сторонніх джерел вільних носіїв заряду. Бібл. 12, рис. 5.
Authors and Affiliations
Oleh Mykolaiovych Bevza
Keywords
Related Articles
- EP ID EP294323
- DOI 10.20535/2312-1807.2017.22.3.105448
- Views 107
- Downloads 0
Алгоритм вибору нетрадиційних та відновлювальних джерел електричної енергії до локальної системи електропостачання підприємств гірничо-видобувного комплексу
У статті запропоновано впровадження локальних енергетичних систем (ЛЕС) в комплекс електропостачання підприємств вітчизняного гірничо-видобувного комплексу (ГВК) на базі нетрадиційних та відновлювальних джерел електрично...
Влияние насыщения магнитной системы асинхронного двигателя на спектр тока при питании от импульсного источника
Предложена модель для исследования токов статора основной и высших гармоник с учетом насыщения магнитной системы асинхронного двигателя при известной форме питающего напряжения. Проведен анализ влияния нелинейности криво...
РОЗПОДІЛ РЕСУРСІВ КРИТИЧНОЇ IT-ІНФРАСТРУКТУРИ З ВИКОРИСТАННЯМ ХМАРНИХ ТЕХНОЛОГІЙ
В статті розглянуті питання щодо розподілу ресурсів критичної ІТ-інфраструктури з використанням хмарних технологій, визначення параметрів для формування критерію оптимальності управління критичною ІТ-інфраструктурою. Зап...
ВИКОРИСТАННЯ ГРАФІЧНОГО ПРОГРАМУВАННЯ ДЛЯ ОРГАНІЗАЦІЇ АНАЛІЗАТОРІВ СПЕКТРУ КОМБIНОВАНОГО ТИПУ
Для створення проекту широкосмугового аналізатора спектру комбiнованого типу в діапазоні звукових частот застосовано основні принципи графічного програмування середовища LABVIEW. Частотні канали аналізатора подано в трад...
Тепловий захист імпульсних перетворювачів електроенергії
В даній статті, опираючись на електричні та теплові моделі компонентів імпульсних перетворювачів електроенергії, описується шлях до забезпечення теплового захисту як на методологічному рівні, встановлюючи межі безпечної...