Методика виявлення мікродефектів і дефектного шару в поверхні пластин з оптичного скла з використанням електронно-променевого методу обробки
Journal Title: Вісник Черкаського державного технологічного університету - Year 2017, Vol 1, Issue 2
Abstract
Методика дозволяє виявити мікродефекти та дефектний шар на пластинах з оптичного скла К8, СТК3, БК10, ТК21, що отримані в умовах оптичного виробництва, і у подальшому поверхня яких має використовуватися для виготовлення одиночних мікролінз, мікролінзових растрів, елементів інтегральної оптики, одиночних та системи мікродзеркал з використанням технології мікроелектроніки. За розробленою методикою мікродефекти та дефектний шар в поверхні пластини виявляються шляхом дії на неї електронного потоку, подальшого травлення у суміші HF + гліцерин та застосування оптичної, електронної і атомно-силової мікроскопії. Дія електронного потоку забезпечує дисоціацію продуктів полірування, які заповнюють дефектний шар пластини, і підвищує їх розчинність у сумішах HF та гліцерину.
Authors and Affiliations
Г. В. Канашевич, М. В. Голуб, С. М. Мацепа, В. С. Антонюк
Keywords
Related Articles
- EP ID EP463429
- DOI -
- Views 124
- Downloads 0
ЗАСТОСУВАННЯ КОЛІРНИХ ГАРМОНІЙ ТА ВІДТВОРЕННЯ КОЛЬОРУ В ПОЛІГРАФІЇ
У статті розглянуто деякі аспекти колірної гармонії та кольороутворення в поліграфії, використання природної гармонійності кольорів у художньому проектуванні об’єктів полігра-фічного та мультимедійного виробництва.
ДОСЛІДЖЕННЯ ДИНАМІЧНОЇ ПОХИБКИ МЕТОДУ ВИМІРЮВАННЯ ПЕРЕМІЩЕННЯ ЗА ДОПОМОГОЮ ВИМІРЮВАЛЬНОГО ПЕРЕТВОРЮВАЧА ТИПУ ІНДУКТОСИН, ЩО БАЗУЄТЬСЯ НА ВИМІРЮВАННІ КУТА ЗСУВУ ФАЗИ
<p>У статті розглянуто метод вимірювання переміщення за допомогою вимірювального перетворювача типу індуктосин, що базується на вимірюванні кута зсуву фази, виникнення та зміну в часі динамічної похибки методу вимірюванн...
ДОСЛІДЖЕННЯ ЕЛЕКТРИЧНОГО ІМПЕДАНСУ П'ЄЗОЕЛЕКТРИЧНОГО ДИСКА З СЕКТОРНИМИ ЕЛЕКТРОДАМИ
В наш час провідні виробники радіоелектронних компонентів випускають досить великий перелік елементів, до складу яких включені різні мікроелектромеханічні структури, наприклад, різні акселерометри, резонатори і реалізова...
Інтеграція електронних і освітніх ресурсів чдту в світовий інформаційний простір
У статті сформовано актуальні напрями роботи університету, пов'язані з просуванням електронних і освітніх ресурсів ЧДТУ в світовий інформаційний простір. Наведено критерії оцінки університету в рейтингу Webometrics і шля...
ВІРТУАЛЬНИЙ ІНСТРУМЕНТАРІЙ ДЛЯ ДОСЛІДЖЕННЯ ХВИЛЕВОДУ ПРЯМОКУТНОГО ПЕРЕТИНУ
<p>У роботі синтезовано віртуальний стенд у середовищі LabView, який дає можливість провести імітаційне моделювання для визначення параметрів електромагнітної хвилі в прямокутному хвилеводі. Для хвилі заданого типу з дов...