Modelowanie sił tłumiących występujących w prostych układach MEMS
Journal Title: Bulletin of the Military University of Technology - Year 2015, Vol 64, Issue 4
Abstract
W mikroukładach mechanicznych określanych skrótem MEMS występują pewne siły tłumiące. Na etapie projektowania układów tego typu wartości tych sił muszą zostać dokładnie oszacowane.Jak ukazane zostanie w niniejszej pracy, w układach pracujących z niskimi częstotliwościami najważniejszą siłą będzie siła lepka związana z wypływaniem filmu powietrznego spod pracujących płytek układów. Siłę tę można z dużą dokładnością szacować metodami analitycznymi znanymi z literatury. W poniższej pracy ukazane zostaną znane rozwiązania analityczne stosowane często w praktyce dla prostych płytek. Wykonane zostaną również proste symulacje zarówno z wykorzystaniemopisanych rozwiązań analitycznych, jak i z użyciem specjalistycznego programu o nazwie Comsol Multiphysics. Przeprowadzone badania analityczno-numeryczne wykażą skuteczność oprogramowanianumerycznego.[b]Słowa kluczowe[/b]: MEMS, siły tłumiące, równanie Reynoldsa, modelowanie, symulowanie
Authors and Affiliations
Kamil Urbanowicz
Keywords
Related Articles
- EP ID EP77489
- DOI 10.5604/12345865.1186348
- Views 65
- Downloads 0
Prediction of reduction of blast load pressure by granular medium layer
The paper presents numerical analysis of effectiveness of reduction of blast load pressure acting on the ceiling by using granular medium with a cover plate. The analysis was conducted using the discrete element method....
Analysis of crack and deflection states of high performance reinforced fiber concrete deep beams with openings
The article presents the crack and deflection states analysis of the reinforced deep beams with openings made of high performance steel and polypropylene fibre concrete. Research was carried out with regard to quantity a...
Frakcjonowanie mikrocząstek biologicznych w polu grawitacji i polu sił odśrodkowych
W artykule przedstawiono podstawowe zależności opisujące stan granicznej równowagi frakcji wyodrębnianych w procesie frakcjonowania dwuskładnikowych mieszanin biologicznych uformowanych na osnowie jednorodnego roztworu b...
Filtracja płynu ATF w automatycznych skrzyniach biegów samochodów osobowych (ASB)
Przedstawiono funkcje oraz warunki pracy filtrów ssawnych płynu ATF w automatycznychskrzyniach biegów (ASB ). Przeanalizowano wymagania stawiane filtrom płynu ATF. Określono źródłazanieczyszczeń płynu ATF. Scharakteryzow...
Badanie wydajności użytkowej systemu klasy ERP z bazą relacyjną w środowisku heterogenicznym
W artykule przedstawiono badania wydajności użytkowej komercyjnego systemu klasy ERP działającego w modelu 2W z bazą relacyjną zainstalowaną na platformie IBM mainframe i serwerem logiki biznesowej oraz prezentacji zains...