NANOKOMPOZYTY OSADZANE METODĄ ROZPYLANIA MAGNETRONOWEGO I ICH ZASTOSOWANIA
Journal Title: Proceedings of Electrotechnical Institute Prace Instytutu Elektrotechniki - Year 2012, Vol 59, Issue 259
Abstract
Cienkie warstwy nanokompozytów ze względu na ciekawe właściwości znajdują coraz szersze zastosowanie w najróżniejszych gałęziach przemysłu, od elektroniki, przez mechanikę (warstwy odporne na ścieranie) po fotowoltaikę. W pracy zostały przed-stawione możliwości wykorzystania technologii reaktywnego osadzania magnetronowego do nanoszenia warstw kompozytów o rozmiarach charakterystycznych 10 – 300 nm (jest to rozmiar ziarna lub pojedynczej warstwy). Zmierzone zostały właściwości kompozytów – mieszanin tlenków i azotków z metalami (Al2O3-Al, AlN-Al, TiO2-Ti, TiN-Ti). Badania przeprowadzono z użyciem niezbalansowanego magnetronu WMK-50. Korzystano w nich z targetów tytanowych i glinowych o średnicy 50 mm, które rozpylano w obecności mieszaniny gazu roboczego – argonu i gazu reaktywnego – tlenu lub azotu. W badaniach wykorzystywano metaliczny mod pracy magnetronu, nie dopuszczano do zatrucia powierzchni targetu związkiem. Umożliwiało to osadzanie warstw związków i wtrąceń metalicznych bez konieczności długotrwałego oczyszczania powierzchni rozpylanej. Właściwości elektryczne i optyczne tych warstw zostały porównane z czystymi tlenkami i azotkami bez wtrąceń metalicznych, a następnie wstępnie scharakteryzowane pod kątem możliwych zastosowań.
Authors and Affiliations
Katarzyna Tadaszak
Keywords
Related Articles
- EP ID EP187698
- DOI -
- Views 68
- Downloads 0
ANALYSIS OF SHORT CIRCUIT CONDITIONS IN HIGH POWER DEVICES
Method of protection against failure or explosion hazard of semiconductor power devices, which can occur in high power converters, is discussed. This method base on a comparing of the permissible over current declared by...
ANALIZA WPŁYWU INDUKCYJNOŚCI ZASILANIA NA PRACĘ PROSTOWNIKA MOSTKOWEGO
Układ prostownika dwupołówkowego mostkowego jest jednym z najczęściej stosowanych odbiorników nieliniowych. Głównym obszarem zastosowań tego układu są jednofazowe zasilacze sieciowe, które stanowią wyposażenie większości...
METODA OCENY RYZYKA ZAWODOWEGO ZWIĄZANEGO ZE SZTUCZNYM PROMIENIOWANIEM OPTYCZNYM ZGODNIE Z NOWYMI WYMAGANIAMI PRAWA
W artykule omówiono wymagania prawa dotyczące czynników, jakie powinny być uwzględnione przy ocenie ryzyka zawodowego związanego z ekspozycją zawodową na sztuczne promieniowanie optyczne. Uwzględniając powyższe, przedsta...
CONTROL OF SINGLE-PHASE POWER ACTIVE FILTERS
This paper deals with three methods of determination of reference current for control of single-phase active filters. All this methods are based on the idea that an ordinary single-phase (system) quantity can be compleme...
MASA NIERESOROWANA ORAZ NOWE KONCEPCJE TECHNOLOGICZNE W NAPĘDACH BEZPOŚREDNICH
W artykule omówiono wpływ masy nieresorowanej na bezpieczeństwo w czasie jazdy i obsługę urządzeń w pojeździe elektrycznym. Przedstawiono stan zaawansowanych prac oraz stopień wdrożenia modułów przeznaczonych do sterowan...