ОТРИМАННЯ ТА ДОСЛІДЖЕННЯ КОНДЕНСАТУ AL O З РОЗВИНУТОЮ ПОВЕРХНЕЮ ПРИ РЕАКЦІЙНОМУ ІОННОМУ ОСАДЖЕННІ
Journal Title: Електроніка та зв'язок - Year 2017, Vol 22, Issue 3
Abstract
Конденсат сполуки алюмінію та кисню може утворювати структури з розгалуженою поверхнею, де відсутня кристалічна фаза Al2O3, проте кількість кисню в таких конденсатах відповідає вмісту кисню в Al2O3. Формування таких конденсатів здійснювалось в вакуумному середовищі, де алюміній випаровувався за допомогою термокатодної гармати при напусканні кисню в технологічну камеру. Товщина шару сягала 3 – 16 мкм. Покриття наносились на алюмінієву конденсаторну фольгу та пластини кремнію. Отримані зразки досліджувались за допомогою растрового електронного мікроскопу, проводився рентгенівський емісійний аналіз з електронним збудженням та вимірювалась питома ємність зразків алюмінієвої фольги, покритої конденсатом Al‑O електролітичним методом. Концентрація кисню в технологічній камері впливала на тип мікроструктур, що утворюються на поверхні. При її збільшенні відбувався перехід від кристалітів до глобул. Питома ємність поверхні залежить від її мікроструктури, в деяких зразках вона збільшилась в 2 – 10 разів, а в окремих випадках до 250 разів. Бібл. 7, рис. 5.
Authors and Affiliations
Sergii Borysovych Sydorenko Sydorenko
Keywords
Related Articles
- EP ID EP294318
- DOI 10.20535/2312-1807.2017.22.3.104582
- Views 112
- Downloads 0
ВИЗНАЧЕННЯ СТАЛИХ ІНТЕГРУВАННЯ ПРИ РОЗРАХУНКУ ПЕРЕХІДНИХ ПРОЦЕСІВ В ПЕРЕТВОРЮВАЧАХ
Проаналізовано вимоги, що ставляться до методів розрахунку перехідних процесів в перетворювачах, які можуть бути використані при побудові їх систем керування. Відзначено, що однією з головних вимог при керуванні перетво...
Заходи запобігання резонансних перенапруг в магістральних електричних мережах
В сучасних магістральних електричних мережах використовуються перш за все структурні заходи зниження та запобігання резонансних перенапруг, які пов’язані зі зміною робочої схеми та переходом від анормального режиму до но...
Фільтри НВЧ на основі тонких діелектричних резонаторів
У статті показано принцип створення фільтрів НВЧ на основі тонких діелектричних резонаторів. Представлено варіанти конструкцій таких фільтрів. Описано методику й наведено результати їх теоретичних та експериментальних до...
Повышение энергетических показателей системы тиристорный регулятор тока – трансформатор питания в электротермических установках
Определен гармонический состав входного тока системы тиристорный регулятор тока – трансформатор питания электротермической установки. Предложена схема и имитационная модель системы с активным корректором формы тока. Биб...
ВИЗНАЧЕННЯ ВІРТУАЛЬНОЇ ЩІЛЬНОСТІ ХМАР ІЗ ЗАСТОСУВАННЯМ МЕТОДУ ЗВОРОТНОГО ПЕРЕТВОРЕННЯ
В наведеній статті запропоновано методику визначення віртуальної щільності хмар на основі застосування зворотного перетворення для підвищення величини середнього рівня енергії, що генерується сонячною електростанцією, на...