ПРОЦЕСС ВОДОРОДНОГО ВОССТАНОВЛЕНИЯ ТРИХЛОРСИЛАНА В МНОГОСТЕРЖНЕВЫХ РЕАКТОРАХ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ – НОВЫЕ ВОЗМОЖНОСТИ УПРАВЛЕНИЯ ДЛЯ ТРАДИЦИОННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ

Journal Title: Сучасні проблеми металургії - Year 2014, Vol 1, Issue 17

Abstract

Выполнен анализ параметров управления процессом водородного восстановления трихлорсилана в «Siemens-Реакторе». Предложен новый подход к решению задачи управления процессом с оптимизацией по критерию «скорость осаждения кремния». Предложен способ определения управляемого параметра, устраняющий увеличение абсолютной ошибки измерения по мере ведения процесса.

Authors and Affiliations

Л. Я. Шварцман, Э. А. Троценко, Е. В. Баженов, В. Н. Додонов

Keywords

Related Articles

ИССЛЕДОВАНИЕ КАРБИДНЫХ ПРЕВРАЩЕНИЙ С ПОМОЩЬЮ ЭЛЕКТРОННОЙ МИКРОСКОПИИ

Работа посвящена изучению закономерностей фазовых превращений в метастабильных эвтектических карбидах сталей карбидного класса типа Р6М5 и белых чугунах. Результаты комплексных исследований методами световой и электронно...

ИННОВАЦИОННЫЕ ПОДХОДЫ ПРИ СОЗДАНИИ И РАЗВИТИИ ПАО «НИКОПОЛЬСКИЙ ЗАВОД ФЕРРОСПЛАВОВ»

Государственное предприятие «Украинский научно-технический центр «Энергосталь», созданное в 2001 г., – правопреемник старейших в СНГ научно-исследовательских и проектных институтов «Гипросталь» и УкрНИИМет, основанных в...

Динамическая модель вибропрессовой установки

Приведены результаты модельных исследований вибропрессовой установки прерывистого характера деформирования обрабатываемого металла. Исследованы вопросы синхронизации вращения роторов вибровозбудителей. Полученные данные...

МЕХАНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ РЕШЕТКИ ТОКОВОДА АККУМУЛЯТОРОВ-ЭНЕРГОНАКОПИТЕЛЕЙ И ИХ РАСЧЕТНЫЕ СХЕМЫ

Механические характеристики решеток определены на основе эксперементальных данных. Эксперименты проведены для отдельной полосы и для решетки в целом. Отмечена зависимость механических характеристик решетки от технологиче...

Експериментальне дослідження підвищення технологічності брикетів феросиліцію для виробництва сталі

Представлені результати лабораторного випробування брикетування дрібнофракційного феросиліцію ФС65 з добавкою обважнювача для підвищення технологічності використання при виробництві сталі і оцінені характеристики, а тако...

Download PDF file
  • EP ID EP558921
  • DOI -
  • Views 120
  • Downloads 0

How To Cite

Л. Я. Шварцман, Э. А. Троценко, Е. В. Баженов, В. Н. Додонов (2014). ПРОЦЕСС ВОДОРОДНОГО ВОССТАНОВЛЕНИЯ ТРИХЛОРСИЛАНА В МНОГОСТЕРЖНЕВЫХ РЕАКТОРАХ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ – НОВЫЕ ВОЗМОЖНОСТИ УПРАВЛЕНИЯ ДЛЯ ТРАДИЦИОННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ. Сучасні проблеми металургії, 1(17), 84-92. https://europub.co.uk./articles/-A-558921