REAKTYWNE IMPULSOWE ROZPYLANIE TYTANU – WPŁYW PARAMETRÓW PROCESU NA REZYSTYWNOŚĆ I WŁAŚCIWOŚCI OPTYCZNE
Journal Title: Proceedings of Electrotechnical Institute Prace Instytutu Elektrotechniki - Year 2013, Vol 60, Issue 261
Abstract
Cienkie warstwy azotku i tlenku tytanu osadzane były z procesie impulsowego reaktywnego rozpylania magnetronowego. Przeanalizowano wpływ ciśnienia cząstkowego gazów reaktywnych na właściwości tych materiałów. Kontrola procesu oparta była na śledzeniu zmian parametru zasilacza – mocy krążącej. Zaprezentowana technologia umożliwia dowolne modyfikowanie składu chemicznego, od warstw z nadmiarową zawartością tytanu, przez składy stechiometryczne, po nad-stechiometryczne, co jest powodem obserwowanych zmian w mierzonych charakterystykach związków tytanu. Zbadano elektryczne i optyczne właściwości warstw, a następnie oceniono je pod względem możliwych zastosowań. Dzięki specjalnemu źródłu zasilania i kontroli procesu, możliwe było nanoszenie materiałów o niskiej rezystywności, bez dodatkowego podgrzewania podłoża i z wysoką szybkością osadzania. Zaprezentowana technologia może zostać wykorzystana do pokrywania podłoży nieodpornych na wysokie temperatury.<br/><br/>
Authors and Affiliations
Katarzyna Tadaszak
Keywords
Related Articles
- EP ID EP68372
- DOI -
- Views 114
- Downloads 1
NIETYPOWE POŁĄCZENIA ELEKTRYCZNE – NOWA METODA MIKROSPAWANIA LASEROWEGO
Jakość elektrycznych połączeń stałych jest niezmiennie czynnikiem decydującym o niezawodności urządzeń elektronicznych i elektrycznych. Problem uszkodzeń dotyczy zarówno połączeń realizowanych przy wykorzystaniu tradycyj...
ZMIANY TRANSMISJI PROMIENIOWANIA OPTYCZNEGO PRZEZ SOCZEWKI WEWNĄTRZGAŁKOWE EKSPLANTOWANE Z POWODU ZJAWISKA GLISTENINGU
Celem badań była analiza zmian transmisji promieniowania optycznego przez wewnątrzgałkowe hydrofilne i hydrofobowe soczewki akrylowe eksplantowane z gałki ocznej ze względu na znaczne nasilenie zjawiska glisteningu, obni...
BADANIA STAROŻYTNYCH MONET METODĄ SPEKTROSKOPII EMISYJNEJ ZE WZBUDZENIEM LASEROWYM
W pracy opisano badania starożytnych monet wykonanych ze stopów srebra, przeprowadzone za pomocą spektroskopii emisyjnej ze wzbudzeniem laserowym. Wyniki prac pozwoliły określić względną zawartość pierwiastków w monetach...
In commemoration of Assoc. Prof. Jerzy Bagieński
ELECTROCHEMICAL WEAR OF RAILS IN TRAM TRACKWAY
Mechanical wear of rails is a phenomenon known and described in the literature and also visible in the track for an outside observer. The electrification by direct current of rail transport causes additional hazards in t...