ОТРИМАННЯ ПЛІВОК ZnO НА МАКРОПОРУВАТОМУ Si (100) МЕТОДОМ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО РОЗПИЛЕННЯ
Journal Title: ЕЛЕМЕНТИ, ПРИЛАДИ ТА СИСТЕМИ В ЕЛЕКТРОНІЦІ - Year 2018, Vol 2, Issue
Abstract
У даній роботі методом реактивного магнетронного ВЧ розпилення отримані плівки ZnO на підкладках кремнію орієнтації (100) з попередньо нанесеною системою макропор. Рентгенографічні дослідження ZnO показали, що вони мають полікристалічну природу з гексагональною решіткою типу вюрцит. Середні розміри кристалітів склали 12 нм. Мікроелементний аналіз виявив практично ідеальну стехіометричність ZnO вирощеного на porous-Si/Si.
Authors and Affiliations
Валерій Кідалов, Алена ДЯДЕНЧУК, В. А. БАТУРИН, І. В. РОГОЗІН, А. Г. ЖУК, М. М. ФІЛОНЕНКО, О. Ю. КАРПЕНКО, В. В. КІДАЛОВ
Keywords
Related Articles
- EP ID EP539904
- DOI -
- Views 168
- Downloads 0
ХАЛЬКОГЕНІДНІ СТЕКЛА ЛЕГОВАНІ ДРІБНОДИСПЕРСНИМ ZnS:Mn
В роботі проведенні дослідження халькогенідних стекол As-S, легованих дрібнодисперсним ZnS:Mn. Частинки сульфіду цинку вводились в халькогенідне скло двома способами: в процесі синтезу, і введенням частинок в розплав скл...
ШЛЯХИ ПІДВИЩЕННЯ ЧУТЛИВОСТІ ФОТОПРИЙМАЛЬНОГО КАНАЛУ ІМПУЛЬСНОГО ЛАЗЕРНОГО ДАЛЕКОМІРА
У роботі розглянуто структуру імпульсного лазерного далекоміра та способи його вдосконалення, а саме підвищення чутливості фотоприймального каналу за допомогою просвітлення вхідного вікна фотоприймача - кремнієвого фільт...
НАНОКЛАСТЕРИЗАЦИЯ Mn В ZnS:Mn,Mg, ПОЛУЧЕННОМ МЕТОДОМ САМОРАСПРОСТАНЯЮЩЕГОСЯ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНОГО СИНТЕЗА
В работе исследовался ZnS:Mn,Mg, полученный методом самораспростаняющегося высокотемпературного синтеза (СВС) при одновременном введении примесей Mn и Mg. Исследования проводили методами энергодисперсионной рентгеновской...
СТРУКТУРНА ПЕРЕБУДОВА МІКРОКЛАСТЕРІВ КРЕМНІЮ ПІДЧАС ВИРОЩУВАННЯ МОНОКРИСТАЛА
Запропонована та досліджена імовірнісна модель розподілу мікрокластерів у формі ланцюжків з ковалентними міжатомними зв’язками в розплаві кремнію. Показано, що при температурах біля T = 1688 К в процесі вирощування монок...
НАНОДИОД ШОТТКИ КАК ИНСТРУМЕНТ ИССЛЕДОВАНИЯ КИНЕТИКИ ХИМИЧЕСКИХ РЕАКЦИЙ НА ПОВЕРХНОСТИ ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ СТРУКТУР
Показано, что метод нанодиода Шоттки является эффективным способом «визуализации» поверхностных реакциий может быть использован как новый физический метод в исследовании атомно-молекулярных и электронных процессов на пов...